薄膜開關導電膜就是具有導電功能的薄膜，導電薄膜的荷電載流子在輸運過程中會受到表面和界面的散射，當導電膜的厚度可與電子的自由程相比擬時，其在表面和界面的影響將變得明顯，這個現象可以稱為薄膜的尺寸效應。

薄膜開關導電膜樣板圖示

尺寸效應等效于載流子的自由程減小，因此與同樣材料的塊體相比，導電膜的電導率較小。但是一般情況下，由于制備的技術有待完善，通常導電膜中的缺陷濃度比較高，主要缺陷為雜質、空位、填隙原子、位錯和晶界，以及表面和界面的吸附和偏析等，這些都是薄膜開關導電膜在使用時需要注意的。

薄膜開關導電膜還有一種ITO導電膜類型，這種導電膜的主要參數有表面電阻、表面電阻的均勻性、透光率、熱穩定性、加熱收縮率和加熱卷曲等。其中光透過率主要和ITO膜所用的基底材料及ITO膜的表面電阻有關。除此之外，在基底材料在相同的情況下，ITO膜的表面電阻如果越小，那么ITO膜層的厚度越大，光透過率相應的就會有一定程度的減小。

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